Kỹ thuật phân tích trong sản xuất chất bán dẫn

Ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử yêu cầu độ chính xác tuyệt đối trong việc kiểm tra khí, hóa chất và vật liệu nhằm loại bỏ các tạp chất có thể ảnh hưởng đến quy trình sản xuất. Nói một cách đơn giản, các giải pháp phân tích chất lượng chính là chìa khóa để tạo ra những thiết bị điện tử có hiệu suất cao.

Quá trình sản xuất chất bán dẫn bao gồm các giai đoạn:
Thiết kế → Nghiên cứu & Phát triển (R&D) → Chế tạo thiết bị → Kiểm tra cuối cùng → Lắp ráp & Đóng gói

Mỗi giai đoạn trong quy trình này đều yêu cầu các kỹ thuật kiểm soát và loại bỏ tạp chất khác nhau để đảm bảo chất lượng sản phẩm đầu ra. Nhằm hỗ trợ toàn diện cho lĩnh vực này, PerkinElmer đã phát triển một loạt giải pháp phân tích tiên tiến, bao gồm kiểm nghiệm vô cơ, hữu cơ và phân tích nhiệt, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành sản xuất chất bán dẫn. Dưới đây là một số phương pháp giúp hiện thực hóa các công nghệ điện tử mà chúng ta sử dụng hàng ngày.

PHÂN TÍCH VÔ CƠ

NexION 5000 ICP-MS

NexION 5000 là hệ thống ICP-MS bốn tứ cực tiên tiến, được thiết kế để vượt qua các thách thức khắt khe trong phân tích nguyên tố. Thiết bị này mang lại hiệu suất vượt trội so với công nghệ ba tứ cực truyền thống, giúp giảm nhiễu nền xuống mức cực thấp – dưới một phần nghìn tỷ (ppt). Với khả năng xử lý nền mẫu phức tạp, NexION 5000 đảm bảo độ chính xác cao trong mọi điều kiện phân tích, ngay cả trong plasma nhiệt độ cao, đồng thời cung cấp giới hạn phát hiện xuất sắc.

Avio 550 Max ICP-OES

Avio 550 Max là hệ thống ICP-OES nhỏ gọn, hoạt động hoàn toàn đồng thời, lý tưởng cho các phòng thí nghiệm có nhu cầu phân tích mẫu với thông lượng cao. Được trang bị plasma đứng, thiết bị này có thể xử lý ngay cả những mẫu phức tạp nhất mà không cần pha loãng, giúp tăng năng suất, nâng cao hiệu suất và rút ngắn thời gian thu hồi vốn đầu tư.

PinAAcle 900T AA

PinAAcle 900T là hệ thống quang phổ hấp thụ nguyên tử (AA) tiên tiến, cho phép chuyển đổi linh hoạt giữa chế độ ngọn lửa và lò nung chỉ trong vài giây. Với hệ thống quang học thông lượng cao và đầu dò trạng thái rắn (SSD), thiết bị mang lại tỷ lệ tín hiệu/nhiễu (S/N) cao hơn bất kỳ hệ thống AA nào hiện có trên thị trường.

PHÂN TÍCH HỮU CƠ

GC 2400 Platform

Nền tảng sắc ký khí GC 2400 mang đến độ nhạy vượt trội cùng công nghệ phân tích mẫu tiên tiến nhất hiện nay. Hệ thống hỗ trợ nhiều phương pháp tiêm mẫu khác nhau, bao gồm Headspace, giải hấp nhiệt, tiêm mẫu lỏng tự động và SPME, đáp ứng đa dạng nhu cầu phân tích.

GC/MS với Headspace Sampler & TurboMatrix 650 ATD

Công nghệ giải hấp nhiệt tự động (TD) đang được ứng dụng rộng rãi trong giám sát chất lượng không khí trong nhà và ngoài trời. Hệ thống này là lựa chọn lý tưởng cho nhiều ứng dụng sắc ký khí (GC), đặc biệt trong phân tích khí thoát ra từ vật liệu.

TG-GC/MS (Hệ liên hợp phân tích nhiệt trọng lượng – sắc ký khí – khối phổ)

TG-MS, hệ thống phân tích nhiệt trọng lượng (TGA) kết hợp khối phổ (MS), cho phép theo dõi sự phân hủy mẫu theo thời gian thực. Tuy nhiên, hiện tượng chồng lấn peak có thể gây khó khăn trong việc nhận diện các hợp chất. Việc bổ sung GC vào hệ thống giúp tách biệt rõ ràng các peak, cho phép phát hiện tạp chất ở nồng độ cực thấp.

PHÂN TÍCH NHIỆT

Máy phân tích nhiệt lượng (TGA)

Hệ thống phân tích nhiệt trọng lượng (TGA) cung cấp khả năng kiểm soát hoàn toàn môi trường mẫu, đảm bảo thông lượng cao và độ tin cậy ngay cả khi vận hành không có giám sát. Công nghệ liên hợp tiên tiến giúp thiết bị hoạt động hiệu quả với GC/MS và các hệ thống phân tích khác, hỗ trợ nghiên cứu chuyên sâu về thành phần khí thoát ra.

Máy quét nhiệt vi sai (DSC/Hyper DSC)

Các hệ thống DSC và Hyper DSC cung cấp dữ liệu chuyên sâu về cấu trúc, tính chất và hiệu suất của vật liệu, bao gồm hành vi nhiệt của epoxy, nhiệt độ chuyển tiếp thủy tinh (Tg) và nhiệt độ lưu nhiệt hóa.

Máy phân tích cơ động học (DMA)

Được thiết kế với tính linh hoạt cao và chi phí tối ưu, hệ thống DMA là công cụ lý tưởng cho nghiên cứu nâng cao và kiểm tra chất lượng vật liệu. Thiết bị này đặc biệt phù hợp cho phân tích vật liệu composite, mang lại độ chính xác và độ lặp lại cao.

VẬT TƯ TIÊU HAO THIẾT KẾ RIÊNG CHO SẢN PHẨM

Trong ngành sản xuất chất bán dẫn và điện tử, việc sử dụng vật tư tiêu hao đáng tin cậy là yếu tố then chốt để đảm bảo chất lượng phân tích. Khi lựa chọn vật tư tiêu hao và phụ kiện chính hãng từ PerkinElmer, bạn không chỉ nhận được sản phẩm chất lượng cao mà còn hưởng lợi từ quy trình đặt hàng thuận tiện và dịch vụ hỗ trợ hàng đầu. Điều này giúp bạn đạt được kết quả phân tích chính xác, đúng hạn – mọi lúc, mọi nơi.

Tất cả sản phẩm được phân phối chính thức bởi HTI Scientific. Liên hệ hotline 090 224 5757 để được tư vấn giải pháp/sản phẩm phù hợp cho nhu cầu của bạn.

Chia sẻ